
Печь для силикования карбида кремния — это высокотехнологичное термическое оборудование, специально разработанное для получения и модификации материалов из карбида кремния (SiC).
Печь для силикования карбида кремния — это высокотехнологичное термическое оборудование, специально разработанное для получения и модификации материалов из карбида кремния (SiC). Ее основная технология основана на высокотемпературной реакции силикования и точном контроле атмосферы для достижения уплотнения, спекания, модификации матрицы и упрочнения композитов из карбида кремния. Она широко применяется для массового производства и исследований высокоэффективных материалов из карбида кремния в полупроводниковой, энергетической, металлургической и химической промышленности. Благодаря точному контролю температуры, атмосферы и давления на протяжении всего процесса, она обеспечивает высокую чистоту, высокую плотность и превосходные механические и физико-химические свойства изделий из карбида кремния, что делает ее одним из ключевых элементов оборудования, способствующих самостоятельному контролю в отрасли производства карбида кремния.
1. Метод нагрева: Резистивный нагрев
2. Максимальная рабочая температура 1700 °C соответствует всем требованиям процесса карбонизации.
3. Может использоваться в условиях высокого вакуума или инертного газа.
| Модель | CX-SI40/120HC | CX-SI50/150HC | CX-SI60/180HC | CX-SI60/200HC |
| Максимальная рабочая температура | 1700°C | |||
| Рабочее пространство (мм) Ш×В×Д | 400×400×1200 | 500×500×1500 | 600×600×1800 | 600×600×2000 |
| Количество зон нагрева | Необязательный | |||
| Максимальный объем (л) | 192 | 375 | 648 | 720 |
| Равномерность температуры (ΔT от 1000°C до 2200°C) | ±10°C | |||
| Максимальная скорость нагрева (CEDRT)* | 15°C/min | |||
| Мощность нагрева | 75 KW | 90 KW | 120 KW | 160 KW |
| Максимальный вакуум (CEDRT)* | 1,2×10⁻³ мбар | |||
| Дополнительно высокий вакуум (CEDRT)* | 5×10⁻⁵ мбар | |||
| Повышение давления | 1,33×10⁻² мбар/час | |||
| Рабочая атмосфера | Высокий вакуум (опционально) / Вакуум / Инертный газ (Ar или N₂) | |||
| Источник питания | 3P, 380V, 50Hz/60Hz | |||
| Давление охлаждающей воды | 1–2 бар | |||
| Температура охлаждающей воды | ≤28°C | |||